産品說明:
石墨舟裝片房是用于太阳能行业与PECVD承载车配套、装取硅片、配制中效及高效过滤器,确保吹出的空气达到净化要求。
工作原理:
空氣通過高效過濾後,阻尼層均壓,使潔淨的空氣氣流垂直單向送入裝片工作區,從而保證了工作區內達到工藝要求的潔淨度,操作人員在潔淨的環境中往石墨舟上裝矽片。
1、能准確的使石墨舟承載裝片車定位;
2、采用不鏽鋼制造,整機結構堅固可靠;
3、采用GK系列高效空氣過濾器3只;
4、PECVD承載車在裏面可傾斜15度或旋轉180度;
5、淨化風機噪音小于50dB。
6、保證了工作區內達到工藝要求的潔淨度100級。
主要技術參數:

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